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Analyses d'épaisseurs de couches monophasées par diffraction X en dispersion d'énergie - application à la nitruration

Abstract
L'utilisation de la technique de diffraction X en dispersion d'énergie pour l'analyse quantitative de phases présente de très nombreux avantages par rapport à l'analyse conventionnelle utilisant un rayonnement monochromatique, parmi lesquels on notera la simplicité du montage, la grande rapidité de l'analyse et la faible sensibilité à la texture. Pour le dépouillement des spectres de diffraction, nous avons développé un logiciel qui automatise le traitement. Nous avons étendu les possibilités du logiciel à l'analyse des structures dans lesquelles les phases sont disposées en couches monophasées. Après avoir rappelé les principes du modèle mis en oeuvre, nous présentons les premiers résultats obtenus. Ces résultats montrent que, contrairement à l'analyse quantitative de phases, l'analyse d'épaisseur du matériau est plus sensible à la présence d'une texture. Cependant, parmi les applications industrielles, l'analyse de la couche de combinaison de matériaux nitrurés ne pose pas de problème particulier, et c'est actuellement le domaine de prédilection de l'utilisation de la technique. Une part importante des exemples d'application de cette présentation lui est réservée.