Journal de Physique IV

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SiCN coatings prepared by PACVD from TMS-NH₃-Ar system on steel

M. DUCARROIR, W. ZHANG et R. BERJOAN

J. Phys. IV France, 03 C3 (1993) C3-247-C3-254

DOI: 10.1051/jp4:1993333

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