Journal de Physique IV

Chemical vapour deposition of copper using copper(II) alkoxides

R. Becker, J. Weiß, A. Devi et R.A. Fischer

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-569-Pr3-575

DOI: 10.1051/jp4:2001372

R. Becker

J. Weiß

A. Devi

R.A. Fischer

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