Journal de Physique IV

Authentification abonné

Mon compte EDPS

In situ characterization of atomic layer deposition of SrTiO₃

A. Rahtu, T. Hänninen et M. Ritala

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-923-Pr3-930

DOI: 10.1051/jp4:20013115

Rechercher les articles dans Google Scholar correspondant aux auteurs sélectionnés:

Sélectionnez les auteurs :

A. Rahtu

T. Hänninen

M. Ritala

Méthode de recherche :

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)