Journal de Physique IV

Caractérisation par émission X de films de carbone et de nitrure de carbone déposés par PVD

J. Baborowski, M. Charbonnier et M. Romand

J. Phys. IV France, 08 PR5 (1998) Pr5-279-Pr5-286

DOI: 10.1051/jp4:1998535

J. Baborowski

M. Charbonnier

M. Romand

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