Journal de Physique IV

Authentification abonné

Mon compte EDPS

Laser-assisted chemical vapour deposition of TiSi₂: aspects of deposition and etching

H. WESTBERG, M. BOMAN et J.-O. CARLSSON

J. Phys. IV France, 03 C3 (1993) C3-225-C3-232

DOI: 10.1051/jp4:1993330

Rechercher les articles dans Google Scholar correspondant aux auteurs sélectionnés:

Sélectionnez les auteurs :

H. WESTBERG

M. BOMAN

J.-O. CARLSSON

Méthode de recherche :

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)