Journal de Physique IV

Films de nitrure de carbone obtenus par ablation laser ArF du graphite en atmosphère d'azote. Corrélation entre l'émission du plasma et la composition du dépôt

C. Fuchs, R. Henck, E. Fogarassy, J. Hommet et F. Le Normand

J. Phys. IV France, 09 PR5 (1999) Pr5-145-Pr5-146

DOI: 10.1051/jp4:1999544

C. Fuchs

R. Henck

E. Fogarassy

J. Hommet

F. Le Normand

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