Journal de Physique IV

SIPOS Deposition from Disilane : Experimental Study and Modelling

C. Cordier, E. Dehan, E. Scheid, P. Duverneuil et J.P. Couderc

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-315-C5-322

DOI: 10.1051/jphyscol:1995537

C. Cordier

E. Dehan

E. Scheid

P. Duverneuil

J.P. Couderc

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