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Development of EUV light source by laser-produced plasma

Y. Izawa, N. Miyanaga, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Aota, Y. Tao, S. Uchida, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura et al. (15 de plus)

J. Phys. IV France, 133 (2006) 1161-1165

Publié en ligne : 16 juin 2006

DOI: 10.1051/jp4:2006133237

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