Journal de Physique IV

Comparative characterization of nitrogen-rich CN_x films prepared by different ICP-CVD techniques

C. Popov, J. Bulir, L. Zambov, M. Jelinek et M.-P. Delplancke-Ogletree

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-731-Pr3-738

DOI: 10.1051/jp4:2001392

C. Popov

J. Bulir

L. Zambov

M. Jelinek

M.-P. Delplancke-Ogletree

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