Journal de Physique IV

Kinetics of LPCVD of aluminium nitride films based on pyrolysis of aluminium chloride complex

S.E. Alexandrov et V.A. Chistiakov

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-155-Pr3-161

DOI: 10.1051/jp4:2001319

S.E. Alexandrov

V.A. Chistiakov

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