Journal de Physique IV

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Structure and composition investigation of RPECVD SiCN and LPCVD BCN films

M.L. Kosinova, N.I Fainer, Yu.M. Rumyantsev, M. Terauchi, K. Shibata, F. Satoh, M. Tanaka et F.A. Kuznetsov

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-987-Pr3-994

DOI: 10.1051/jp4:20013124

M.L. Kosinova

N.I Fainer

Yu.M. Rumyantsev

M. Terauchi

K. Shibata

F. Satoh

M. Tanaka

F.A. Kuznetsov

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