Journal de Physique IV

Carbon nitride films prepared by inductively coupled plasma chemical vapour deposition from a solid carbon source

C. Popov, M.F. Plass et W. Kulisch

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-725-Pr8-732

DOI: 10.1051/jp4:1999891

C. Popov

M.F. Plass

W. Kulisch

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