Journal de Physique IV

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Optimisation of the MOCVD of Ti(C, N) in a pulsed H₂ - N₂ plasma by gas-phase analysis

J. P.A.M. Driessen, A. D. Kuypers et J. Schoonman

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-605-Pr8-612

DOI: 10.1051/jp4:1999876

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