Journal de Physique IV

Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance

P. Raynaud, C. Marlière, D. Berthomieux, Y. Segui, J. Durand et R. Burke

J. Phys. IV France, 08 PR7 (1998) Pr7-265-Pr7-272

DOI: 10.1051/jp4:1998722

P. Raynaud

C. Marlière

D. Berthomieux

Y. Segui

J. Durand

R. Burke

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