Journal de Physique IV

Caractérisation structurale et contraintes résiduelles de films d'AIN par diffraction des rayons X

C. Meneau, Ph. Goudeau, P. Andreazza, C. Andreazza-Vignolle et J.C. Pommier

J. Phys. IV France, 08 PR5 (1998) Pr5-153-Pr5-161

DOI: 10.1051/jp4:1998520

C. Meneau

Ph. Goudeau

P. Andreazza

C. Andreazza-Vignolle

J.C. Pommier

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