Journal de Physique IV

Direct writing of piezoresistive silicon resistors using laser-induced CVD

H. MOILANEN, L. LEPPÄVUORI et A. UUSIMÄKI

J. Phys. IV France, 03 C3 (1993) C3-457-C3-464

DOI: 10.1051/jp4:1993363

H. MOILANEN

L. LEPPÄVUORI

A. UUSIMÄKI

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