Réflectomètre à large spectre EUV pour la métrologie d'optiques Ch. Hecquet, M. Roulliay, F. Delmotte, M. F. Ravet-Krill, A. Hardouin et M. IdirJ. Phys. IV France, 138 1 (2006) 259-264DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2006138030
