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Citations de cet article :

A fluidized bed reactor for low temperature deposition

sara Suvanto and Tapani A Pakkanen
Journal of Molecular Catalysis A: Chemical 125 (2-3) 91 (1997)
DOI: 10.1016/S1381-1169(97)00084-8
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Chemical Vapor Deposition of Iridium, Platinum, Rhodium and Palladium

J. R. Vargas Garcia and Takashi Goto
MATERIALS TRANSACTIONS 44 (9) 1717 (2003)
DOI: 10.2320/matertrans.44.1717
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