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Citations de cet article :

New materials for micro-scale sensors and actuators

Stephen A. Wilson, Renaud P.J. Jourdain, Qi Zhang, et al.
Materials Science and Engineering: R: Reports 56 (1-6) 1 (2007)
DOI: 10.1016/j.mser.2007.03.001
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Shape memory alloy thin films and heterostructures for MEMS applications: A review

Nitin Choudhary and Davinder Kaur
Sensors and Actuators A: Physical (2016)
DOI: 10.1016/j.sna.2016.02.026
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Thin film shape memory microvalves with adjustable operation temperature

M Kohl, D Dittmann, E Quandt and B Winzek
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DOI: 10.1016/S0924-4247(99)00386-6
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SMA Foils for MEMS: From Material Properties to the Engineering of Microdevices

Manfred Kohl, Hinnerk Ossmer, Marcel Gueltig and Christof Megnin
Shape Memory and Superelasticity 4 (1) 127 (2018)
DOI: 10.1007/s40830-017-0144-x
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