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Thin film growth from a low pressure plasma excited in a supersonic expanding gas jet

C Wachtendorf, C Herweg, M Daeuber, J Benedikt and A von Keudell
Journal of Physics D: Applied Physics 42 (9) 095205 (2009)
https://doi.org/10.1088/0022-3727/42/9/095205

Cu3N films prepared by the low-pressure r.f. supersonic plasma jet reactor: Structure and optical properties

F. Fendrych, L. Soukup, L. Jastrabı́k, et al.
Diamond and Related Materials 8 (8-9) 1715 (1999)
https://doi.org/10.1016/S0925-9635(99)00063-1