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Article cité :

EPMA and ellipsometric characterization of PECVD boron-carbon films

A.I. KANAEV, S. Yu. RYBAKOV, M.N. CHURAEVA

J. Phys. IV France, 03 C3 (1993) C3-183-C3-188

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1993323

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Citations de cet article :

The influence of hydrogen on the chemical, mechanical, optical/electronic, and electrical transport properties of amorphous hydrogenated boron carbide

Bradley J. Nordell, Sudarshan Karki, Thuong D. Nguyen, et al.
Journal of Applied Physics 118 (3) (2015)
https://doi.org/10.1063/1.4927037