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Thermodynamics of the production of condensed phases in the chemical vapor deposition of ZrC in the ZrCl4–CH4–H2–Ar system

Haiping Liu, Juanli Deng, Lianli Yang, et al.
Thin Solid Films 558 462 (2014)
DOI: 10.1016/j.tsf.2014.03.023
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Preparation of love density free-standing shape of SiC by pressure-pulsed chemical vapour infiltration

K. Sugiyama and K. Norizuki
Journal of Materials Science Letters 14 (23) 1720 (1995)
DOI: 10.1007/BF00422686
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