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Article cité :

Photoacoustic elastic bending method in microelectronics – invited paper

D.M. Todorović

J. Phys. IV France, 137 (2006) 363-373

Publié en ligne : 2006-12-23

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2006137069

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Citations de cet article :

How Lasers Exploit Photoacoustic and Photoelectric Phenomena to Inject Signals into MEMS Microphones

Benjamin Cyr, Vedant Sumaria, Yan Long, Srinivas Tadigadapa, Takeshi Sugawara and Kevin Fu
Journal of Hardware and Systems Security (2025)
https://doi.org/10.1007/s41635-025-00159-9

Photoacoustic study of elastic deformations in silicon membranes

D. M. Todorovic
Journal of Applied Physics 134 (9) (2023)
https://doi.org/10.1063/5.0151402

Photoacoustic elastic bending in thin film–substrate system: Experimental determination of the thin film parameters

D. M. Todorović, M. D. Rabasović, D. D. Markushev and M. Sarajlić
Journal of Applied Physics 116 (5) (2014)
https://doi.org/10.1063/1.4890346