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Article cité :

Thermodynamic modelling of the chemical vapour deposition of boron nitride in the B-N-H-He-O system

A.N. Golubenko, M.L. Kosinova, F.A. Kuznetsov

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-177-Pr3-181

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2001322

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Citations de cet article :

Thermodynamic modeling of SiBCN film deposition from the gas phase in the Si—B—N—C—H system

V. A. Shestakov and M. L. Kosinova
Russian Chemical Bulletin 70 (2) 283 (2021)
https://doi.org/10.1007/s11172-021-3083-9

Thermodynamic modeling of BCN chemical vapor deposition from N-trimethylborazine + ammonia mixtures

A. N. Golubenko, M. L. Kosinova, A. A. Titov and F. A. Kuznetsov
Inorganic Materials 48 (7) 691 (2012)
https://doi.org/10.1134/S0020168512060039