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The Wear Features of a Plasma Thin-Film Coating on High-Speed Steel

I. A. Rastegaev, I. I. Rastegaeva, D. L. Merson and V. A. Korotkov
Journal of Friction and Wear 41 (2) 160 (2020)
https://doi.org/10.3103/S1068366620020117

Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture

A. G. Plekhanov, N. I. Fainer, E. A. Maksimovskiy, et al.
Russian Journal of General Chemistry 89 (11) 2290 (2019)
https://doi.org/10.1134/S1070363219110203

Synthesis of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride from a Gas Mixture of Methyltris(Diethylamino)Silane, Nitrogen, and Oxygen

N. I. Fainer, A. G. Plekhanov, E. A. Maksimovsky and Yu. M. Rumyantsev
Glass Physics and Chemistry 44 (6) 607 (2018)
https://doi.org/10.1134/S1087659618060056