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Article cité :

Characterizations of elastic behaviors of silicon nitride thin films with varying thicknesses

Yuxing Ren and David C.C. Lam
Materials Science and Engineering: A 467 (1-2) 93 (2007)
https://doi.org/10.1016/j.msea.2007.02.096

Annealing and deposition effects of the chemical composition of silicon-rich nitride

K.N. Andersen, W.E. Svendsen, T. Stimpel-Lindner, T. Sulima and H. Baumgärtner
Applied Surface Science 243 (1-4) 401 (2005)
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2004.09.096