Article cité par

La fonctionnalité Article cité par… liste les citations d'un article. Ces citations proviennent de la base de données des articles de EDP Sciences, ainsi que des bases de données d'autres éditeurs participant au programme CrossRef Cited-by Linking Program. Vous pouvez définir une alerte courriel pour être prévenu de la parution d'un nouvel article citant " cet article (voir sur la page du résumé de l'article le menu à droite).

Article cité :

Suppression of substrate oxidation during ozone based atomic layer deposition of Al2O3: Effect of ozone flow rate

Jinhee Kwon, Min Dai, Mathew D. Halls and Yves. J. Chabal
Applied Physics Letters 97 (16) (2010)
https://doi.org/10.1063/1.3500821

The initial mechanisms of Al2O3 atomic layer deposition on OH/Si(100)-2×1 surface by tri-methylaluminum and water

Manik Kumer Ghosh and Cheol Ho Choi
Chemical Physics Letters 426 (4-6) 365 (2006)
https://doi.org/10.1016/j.cplett.2006.05.126

Importance of Steric Effects in Cluster Models of Silicon Surface Chemistry:  ONIOM Studies of the Atomic Layer Deposition (ALD) of Al2O3 on H/Si(111)

Mathew D. Halls and Krishnan Raghavachari
The Journal of Physical Chemistry A 108 (15) 2982 (2004)
https://doi.org/10.1021/jp037014m

Atomic layer deposition of Al2O3 on H-passivated Si. I. Initial surface reaction pathways with H/Si(100)-2×1

Mathew D. Halls and Krishnan Raghavachari
The Journal of Chemical Physics 118 (22) 10221 (2003)
https://doi.org/10.1063/1.1571513