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Dense plasma interferometry with a tabletop soft X-ray laser and an amplitude division interferometer based on diffraction gratings

J. Filevich, M.C. Marconi, K. Kanizay, J.L.A. Chilla, J.J. Rocca

J. Phys. IV France, 11 PR2 (2001) Pr2-483-Pr2-486

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:2001292

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Citations de cet article :

Defect-free periodic structures using extreme ultraviolet Talbot lithography in a table-top system

Wei Li, Victor Martinez Esquiroz, Lukasz Urbanski, et al.
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 31 (6) 06F604 (2013)
https://doi.org/10.1116/1.4826344

New opportunities in interferometric lithography using extreme ultraviolet tabletop lasers

Przemyslaw W. Wachulak
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 8 (2) 021206 (2009)
https://doi.org/10.1117/1.3129837