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Article cité :

Investigations on TiN, TiC and Ti(CN) obtained by chemical vapor deposition

N. Popovska, C. Drothler, V.K. Wunder, H. Gerhard, G. Emig

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-437-Pr8-444

DOI: https://doi.org/10.1051/jp4:1999855

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Citations de cet article :

Heat and Mass Transfer Analysis for Coating Process of TiN Thin Film in a Tubular Reactor by Thermal CVD

Yuya Hatori, Hiroki Yamamoto, Ken-ichiro Tanoue and Tatsuo Nishimura
KAGAKU KOGAKU RONBUNSHU 40 (5) 425 (2014)
https://doi.org/10.1252/kakoronbunshu.40.425

Multiscale Analysis and Morphology of TiC Films Deposited by Pulsed Laser Ablation

L. D’Alessio, G. Pace and R. Teghil
Advanced Materials Research 717 177 (2013)
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.717.177

Finite element simulation of pulsed laser ablation of titanium carbide

V. Oliveira and R. Vilar
Applied Surface Science 253 (19) 7810 (2007)
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2007.02.101