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Binary and ternary NiTi-based shape memory films deposited by simultaneous sputter deposition from elemental targets
S. Sanjabi, Y. Z. Cao, S. K. Sadrnezhaad and Z. H. Barber Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 23(5) 1425 (2005) https://doi.org/10.1116/1.2011404
A robust co-sputtering fabrication procedure for TiNi shape memory alloys for MEMS
C.-L. Shih, B.-K. Lai, H. Kahn, S.M. Phillips and A.H. Heuer Journal of Microelectromechanical Systems 10(1) 69 (2001) https://doi.org/10.1109/84.911094
A three-dimensional shape memory alloy microelectrode with clipping structure for insect neural recording