Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

F. Garrelie; C. Jonin; A. Catherinot; C. Champeaux; E. Baubeau; E. Audouard; S. Mottin; P. Laporte

doi:doi:10.1051/jp4:2001730

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Numéro		J. Phys. IV France Volume 11, Numéro PR7, Octobre 2001 5^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X Applications et développements récents


Page(s)		Pr7-95 - Pr7-96
DOI		https://doi.org/10.1051/jp4:2001730

5^e Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X
Applications et développements récents

J. Phys. IV France 11 (2001) Pr7-95-Pr7-96
DOI: 10.1051/jp4:2001730

Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

F. Garrelie¹, C. Jonin¹, A. Catherinot², C. Champeaux², E. Baubeau¹, E. Audouard¹, S. Mottin¹ and P. Laporte¹

¹ Laboratoire Traitement du Signal et Instrumentation, Université Jean Monnet, UMR 5516 du CNRS, 23 rue du Docteur Paul Michelon, 42023 Saint-Etienne cedex 2, France
² Laboratoire Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface, UMR 6638 du CNRS, 123 avenue A. Thomas, 87060 Limoges cedex, France

Résumé
Le transport du panache plasma créé par ablation laser femtoseconde d'une cible de carbone est étudié par imagerie ultra-rapide. L'énergie cinétique des particules émettrices ainsi détectées est voisine de 2 keV pour les plus rapides d'entre elles (détectables pour des délais inférieurs à 100 ns après l'impulsion laser), et de 100 eV pour la composante la plus lumineuse du panache plasma (détectable jusqu'à 1 µs après l'impulsion laser). Des couches minces de DLC ont également été élaborées par ablation laser femtoseconde. Le film obtenu à une fluence de 0.5 J/cm² présente par exemple un taux d'hybridation sp3 du carbone voisin de 55 %.