Journal de Physique IV

Etude par DRX et XPS des couches d'aluminium nitrurées par implantation ionique

Z. Seghrouchni, A. Mosser, J.J. Grob, N. Broll and A. Cornet

J. Phys. IV France, 06 C4 (1996) C4-501-C4-508

DOI: 10.1051/jp4:1996448

Z. Seghrouchni

A. Mosser

J.J. Grob

N. Broll

A. Cornet

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