Journal de Physique IV

Deposition of Boron Nitride Films from BB'B"-Trichloroborazine

R. Stolle et G. Wahl

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-761-C5-768

DOI: 10.1051/jphyscol:1995590

R. Stolle

G. Wahl

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