Journal de Physique IV

Growth Kinetics of Copper Films from Photoassisted CVD of Copperacetylacetonate

D. Tonneau, R. Pierrisnard, H. Dallaporta et W. Marine

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-629-C5-635

DOI: 10.1051/jphyscol:1995575

D. Tonneau

R. Pierrisnard

H. Dallaporta

W. Marine

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