Journal de Physique IV

Modelling of the Deposition of Molybdenum on Silicon from Molybdenum Hexafluoride and Hydrogen

E.N. Orij, M.H.J.M. de Croon et G.B. Marin

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-331-C5-338

DOI: 10.1051/jphyscol:1995539

E.N. Orij

M.H.J.M. de Croon

G.B. Marin

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