Journal de Physique IV

A Study of CVD of Gallium Nitride Films by In Situ Gas-Phase UV Spectroscopy

S.E. Alexandrov, A.Y. Kovalgin et D.M. Krasovitskiy

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-183-C5-190

DOI: 10.1051/jphyscol:1995520

S.E. Alexandrov

A.Y. Kovalgin

D.M. Krasovitskiy

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