Journal de Physique IV

Low Pressure CVD of Tungsten Carbides

P. Tägtström, H. Högberg, U. Jansson et J.-O. Carlsson

J. Phys. IV France, 05 C5 (1995) C5-967-C5-974

DOI: 10.1051/jphyscol:19955114

P. Tägtström

H. Högberg

U. Jansson

J.-O. Carlsson

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