Journal de Physique IV

Chemical etching of Gallium orthophosphate: Application to piezoelectric device manufacturing

N. Prud'homme, D. Cachau-Herreillat, P. Papet et O. Cambon

J. Phys. IV France, 126 (2005) 107-112

DOI: 10.1051/jp4:2005126022

N. Prud'homme

D. Cachau-Herreillat

P. Papet

O. Cambon

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