Journal de Physique IV

Simulation et détermination par rayons X des contraintes dans des micro-composants modèles

A. Loubens, R.Y. Fillit, R. Fortunier et O. Thomas

J. Phys. IV France, 118 (2004) 109-115

DOI: 10.1051/jp4:2004118013

A. Loubens

R.Y. Fillit

R. Fortunier

O. Thomas

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