Journal de Physique IV

Al₂O₃ growth optimisation using aluminium dimethylisopropoxide as precursor as a function of reaction conditions and reacting gases

D. Barreca, G.A. Battiston, G. Carta, R. Gerbasi, G. Rossetto, E. Tondello et P. Zanella

J. Phys. IV France, 11 PR3 (2001) Pr3-539-Pr3-546

DOI: 10.1051/jp4:2001368

D. Barreca

G.A. Battiston

G. Carta

R. Gerbasi

G. Rossetto

E. Tondello

P. Zanella

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