Journal de Physique IV

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XPS investigation of UV-annealed ultrathin Ta₂O₂ films on silicon

Q. Fang, J.Y. Zhang, Z.M. Wang, J.X. Wu, B.J. O'Sullivan, P.K. Hurley, T.L. Leedham, M.A. Audier, J.P. Sénateur et I.W. Boyd

J. Phys. IV France, 11 PR11 (2001) Pr11-301-Pr11-305

DOI: 10.1051/jp4:20011149

Q. Fang

J.Y. Zhang

Z.M. Wang

J.X. Wu

B.J. O'Sullivan

P.K. Hurley

T.L. Leedham

M.A. Audier

J.P. Sénateur

I.W. Boyd

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