Journal de Physique IV

Investigations on TiN, TiC and Ti(CN) obtained by chemical vapor deposition

N. Popovska, C. Drothler, V.K. Wunder, H. Gerhard et G. Emig

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-437-Pr8-444

DOI: 10.1051/jp4:1999855

N. Popovska

C. Drothler

V.K. Wunder

H. Gerhard

G. Emig

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