Journal de Physique IV

LPCVD vertical furnace optimization for undoped polysilicon film deposition

A.M. Rinaldi, S. Carrà,, M. Rampoldi, M.C. Martignoni et M. Masi

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-189-Pr8-196

DOI: 10.1051/jp4:1999823

A.M. Rinaldi

S. Carrà,

M. Rampoldi

M.C. Martignoni

M. Masi

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