Journal de Physique IV

Chemical and structural analysis of crystalline carbon nitride thin films prepared by electron cyclotron resonance plasma sputtering process

Y. Tani, Y. Aoi et E. Kamijo

J. Phys. IV France, 09 PR8 (1999) Pr8-1131-Pr8-1137

DOI: 10.1051/jp4:19998141

Y. Tani

Y. Aoi

E. Kamijo

articles ayant parmi leurs auteurs TOUS les auteurs sélectionnés (ET)

articles ayant parmi leurs auteurs AU MOINS un auteur identique à ceux sélectionnés (OU)