Journal de Physique IV

Si_1-x Ge_x structures fabricated by focused ion beam implantation

Th. Ganetsos, D. Tsamakis, D. Panknin, G.L.R. Mair, J. Teichert, L. Bischoff et C. Aidinis

J. Phys. IV France, 08 PR3 (1998) Pr3-109-Pr3-112

DOI: 10.1051/jp4:1998325

Th. Ganetsos

D. Tsamakis

D. Panknin

G.L.R. Mair

J. Teichert

L. Bischoff

C. Aidinis

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