Journal de Physique IV

Etude par DRX et XPS des couches d'aluminium nitrurées par implantation ionique

Z. Seghrouchni, A. Mosser, J.J. Grob, N. Broll et A. Cornet

J. Phys. IV France, 06 C4 (1996) C4-501-C4-508

DOI: 10.1051/jp4:1996448

Z. Seghrouchni

A. Mosser

J.J. Grob

N. Broll

A. Cornet

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