Etude par Microscopie Electronique et Mesures de Conductance Electrique In Situ de la Cristallisation de Couches a-Si Obtenues par Pyrolyse de Silane et Disilane par LPCVD dans des Conditions Ultra-Pures
, , , , et
J. Phys. IV, 05 C3 (1995) C3-291-C3-296
DOI: 10.1051/jp4:1995329