Journal de Physique IV

Application of Positron Annihilation in the Si Integrated Circuit (IC) Industry

Alec H. Reader, H. Schut, R.A. Hakvoort et A. van Veen

J. Phys. IV France, 05 C1 (1995) C1-27-C1-36

DOI: 10.1051/jp4:1995103

Alec H. Reader

H. Schut

R.A. Hakvoort

A. van Veen

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