Journal de Physique IV

Low pressure silicon selective epitaxial growth and its thermodynamic considerations

L. YE, B.M. ARMSTRONG et H.S. GAMBLE

J. Phys. IV France, 03 C3 (1993) C3-51-C3-58

DOI: 10.1051/jp4:1993306

L. YE

B.M. ARMSTRONG

H.S. GAMBLE

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